MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 | ECO SCAN 製品ラインナップ
MEMS optical scanner ECO SCAN | ECO SCAN Lineup
MEMS光スキャナ 「ECO SCAN」 ＞ 製品ラインナップMEMS optical scanner ECO SCAN ＞ ECO SCAN Lineup
1次元タイプ
One-dimensional Type
ESS112-2ｋHzESS112-2ｋHz |
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| ミラーサイズ | 4×4mm |
|---|---|
| 振幅 | ±20度（光学角） |
| 共振周波数 | 2kHz |
| ミラー材質 | Au |
ESS112-2ｋHz |
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| Mirror size | 4x4mm |
|---|---|
| Amplitude (optic angle) | ±20degrees (Optical angle) |
| Resonant frequency | 2kHz |
| Mirror Material | Au |
ESS115ESS115 |
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| ミラーサイズ | 4.5×5.5mm |
|---|---|
| 振幅 | ±30度（光学角） |
| 共振周波数 | 565Hz±7% |
| ミラー材質 | Au |
ESS115 |
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| Mirror size | 4.5×5.5mm±0.02mm |
|---|---|
| Amplitude (optic angle) | ±30degrees (Optical angle) |
| Resonant frequency | 565Hz±7% |
| Mirror Material | Au |
