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| ESS112-2k |
| ミラーサイズ |
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4×4mm |
共振周波数 |
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2kHz |
| 振れ角 |
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±20度(光学角) |
ミラー材質 |
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金 |
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| ESS112-4k |
| ミラーサイズ |
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4×4mm |
共振周波数 |
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4kHz |
| 振れ角 |
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±12度(光学角) |
ミラー材質 |
 |
金 |
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| ESS112-8k |
| ミラーサイズ |
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4×4mm |
共振周波数 |
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8kHz |
| 振れ角 |
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±8度(光学角) |
ミラー材質 |
 |
金 |
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| ESS115 |
| ミラーサイズ |
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4.5×5.5mm±0.02mm |
| 振れ角 |
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±30度(光学角) |
| 共振周波数 |
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565Hz±7% |
| ミラー材質 |
 |
金 |
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| ESS120 |
| ミラーサイズ |
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3×4mm±0.05mm |
| 振れ角 |
 |
±30度(光学角) |
| 共振周波数 |
 |
3250Hz±5% |
| ミラー材質 |
 |
金 |
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