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一次元／二次元	一次元	共振周波数	3250Hz±5%
振幅（光学角）	±30度	駆動電流（サイン波）	80mAp-p
抵抗値	300Ω±10%	質量	10.2g±10%
ミラーサイズ	3×4mm±0.05mm	ミラー部材質	Au
ミラー反射率	90%以上 (λ=670nm)	ミラー粗さ	Ra=10nm以下
ミラー平坦度	PV=500nm以下	使用環境（温湿度）	温度：+10〜40℃ 湿度：20〜80％RH(結露なきこと)

※1：参考特性

■使用上の注意

1. 本デバイスには強力な磁石を用いているため、磁性体を近づけると急激に吸着しミラーを破損することがありますのでご注意ください。
2. ミラー部が剥き出しになっているため、指やピンセットなどが接触しミラーを破損することがありますのでご注意ください。