Micro Electro Mechanical Systemsの略で、「メムス」と呼びます。
電気と機械を融合した超小型システムで、半導体（LSI）の製造技術を応用した微細加工技術で作られます。日本では、「微小電気機械システム」や「マイクロマシン」と呼ぶ場合もあります。
LSIがシリコン基板上に電子回路を集積させるのに対し、MEMSはシリコン基板上に微小機械構造を作りこみます。
MEMS技術は微細加工・組み合わせ技術の集大成で、世の中のあらゆる分野の既存製品の超小型化に貢献するため、潜在的に応用可能な製品は無数にあると言われています。

主なデバイスとして、下記が挙げられます。
・加速度センサー：
加速度により構造体がひずみ、静電容量が変わることで加速度を検知するセンサー
・圧力センサー：
薄い膜が圧力差によりたわみ、それを静電容量変化としてとらえる事で圧力を検知するセンサー
・光MEMSスキャナー：
入射した光の反射の有無を可動ミラーで制御し、スイッチ、センサー、Display等に使われるスキャナー
・DMD(デジタルマイクロディスプレイ)：
多数の微小鏡面（マイクロミラー）を平面に配列した表示素子
・インクジェットプリンターの印字ヘッド
・遺伝子（DNA）解析用のDNAチップ
・RF-MEMS（高周波スイッチ・F-BAR・フィルター）
・シリコン振動子・発振器
・シリコンマイクロフォン
・小型燃料電池用ポンプ

今後MEMSの微細加工技術が、これまで平面上での集積化を追い求めて来たLSIに対して、電子回路を積層する技術を応用し、LSIの更なる高性能化・大容量化に貢献することを期待されています。

更にこの技術により、MEMSとLSIの一体化が可能となり、より高性能･高集積化したセンサー等のデバイスを、より小型化・低消費電力化を実現させることが同様に期待されています。